膜厚監測儀 SQM160是利用INFICON石英晶體傳感技術在鍍膜過程中測量沉積速率和膜厚的精密儀器,標準型有兩路傳感器輸入,同時,4路傳感器輸入可選,具體視用戶實際應用而定;雙輸出可以向操作者提供直觀的模擬沉積速率及膜厚信號。
石英晶體監測儀 更小的尺寸、更低的成本,擁有傳統QCM的完全一樣的性能。 在測量薄膜沉積速率和膜層厚度中,INFICON新型的Q-podTM傳感器是一種外觀小巧,成本低廉,測量準確的解決方案。
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