雙級隔斷閥是一種隔離閥門，它可以使系統能緩慢地抽真空。雙級閥門由一個小的旁通閥和一個主隔離閥組成。旁通閥上有一個小開口用來進行真空的初抽，以減緩對系統的抽空速率，這樣能減少由于顆粒擾動而產生的沾污，和因壓力突然改變而引起的損傷。注：訂貨時請注明所需的密封材料(Chemraz或Viton)和氣動電磁閥的電壓(24VAC, 24 VDC, 120 VAC, 208 VAC, 220 VAC) 。

HPS的超高真空UHV閥門是一種緊湊型真空閥門，可用于PVD、高能物理、質譜儀及其他要求超凈環境的超高真空系統中。

為了在有限的空間條件下實現系統的軟抽真空，我們推薦使用 HPS 的 LoPro 雙級閥門，它將一個低高度的隔離閥和一個小的旁通閥相集成，很大地簡化了系統的安裝并降低了成本。

CV HPS 角閥具有的高通導、緊湊、耐久和可靠的設計，使其成為如今高真空工藝的*。CV 閥門非常適合半導體生產或實驗室研究。主要用于測量計中或進行真空系統的隔離，我們推薦它還可作為排氣閥、旁通閥或初級閥來應用。以下所示的閥門配置顯示了可以獲得的組合。其它密封材料，包括有銅、Kalrez、鎳、硅樹脂和Chemraz等，如有問題請與我們。 零件編號 示例：CV16-K1K1-NCCV-120

HPS 225系列 AUTO-SOFT 是一個止流閥，在開始抽空時對低真空泵起節流作用。AUTO-SOFT能在系統開始抽空的瞬間迅速關閉，當達到一定設定的壓差時則會自動開啟，使整個真空管道線連通以達到實現抽真空過程的平衡。在半導體、薄膜以及其它產業中，AUTO-SOFT 可用來取代壓力控制的旁通閥門來提供抽真空的軟啟動。這種軟啟動過程降低了真空系統中的氣體湍流，使得系統內部的殘留顆粒不會被吹起，從而不會破壞整個工作過程。

真空閥門MKS擁有波紋管密封真空直閥的完整產品系列，對ISO-KF、ISO-通用型、ASA、CF法蘭和焊樁產品，其尺寸從3/4“ 到6“都有。160系列閥門具有長的設計壽命，適用于高頻度使用的場合。其固有簡潔性和出色的設計使它們可以應用于半導體生產設備中，在這些設備中往往存在著化學污染和顆粒沾污。該系列產品還可以用于等離子物理和核加速器等領域中的高級研究應用中。它具有數十萬個開/關周期的工作壽命。

MKS擁有波紋管密封真空角閥的完整產品系列，對ISO-KF、ISO-通用型、ASA、CF法蘭和焊樁產品，其尺寸從3/4“ 到6“都有。150系列閥門具有長的設計壽命，適用于高頻度使用的場合。其固有簡潔性和出眾的設計使它們可以應用于半導體生產設備中，在這些設備中往往存在著化學污染和顆粒沾污。該系列產品還可以用于等離子物理和核加速器等領域中的研究應用中。真空閥門

145系列真空閥門是一個擁有的安全閥，在電源故障情況下，通過隔斷真空系統和排氣機械泵來保護真空系統，這樣可以防止泵油的阻塞，使得馬達很容易地就能重新啟動泵。真空安全閥可供選擇的法蘭尺寸和電螺線管的電壓/頻率與常用的機械泵相同。