Transpwctor XPR3 氣體分析系統 低真空RGA,用Transpwctor XPR3進行工藝監測可為您提供有關污染程度、出氣量值、氣體純度和設備運行的實時數據。
ToolCheck在真空診斷中是創新的概念,它橋接了真空計與RGAs之間的空隙。這臺簡易的高功能儀器用于監測真空系統,精確地辨別Z常規的殘余氣體,便于及時檢測真空問題與快速消除故障。這臺全內置的儀器可容易地連接任何真空室,內置程序和TCP/IP接口,用于控制ToolCheck和運行于系統控制器的標準網頁瀏覽器查閱結果,無需外接計算機。 RGA殘余氣體分析儀(四極質譜儀)
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