美國Keyhigh PEV-1壓電閥(原型號為:美國Maxtek MV-112) 壓電閥PEV-1
該閥門主要應用于壓強控制,廣泛應用在半導體,平板顯示,太陽能,鍍膜,科研等行業。
VAT真空閘閥特點:該閥門具有模塊化驅動器,結果緊湊,廣泛應用于半導體行業和科研研究 該閥門主要應用于壓強控制,廣泛應用在半導體,平板顯示,太陽能,鍍膜,科研等行業
VAT真空閥門 S26系列真空角閥 S28系列超高真空角閥 S54、57系列超高真空角閥
INFICON(英??担? VAT 真空閥門.詳情請致電 :
雙級隔斷閥是一種隔離閥門,它可以使系統能緩慢地抽真空。雙級閥門由一個小的旁通閥和一個主隔離閥組成。旁通閥上有一個小開口用來進行真空的初抽,以減緩對系統的抽空速率,這樣能減少由于顆粒擾動而產生的沾污,和因壓力突然改變而引起的損傷。注:訂貨時請注明所需的密封材料(Chemraz或Viton)和氣動電磁閥的電壓(24VAC, 24 VDC, 120 VAC, 208 VAC, 220 VAC) 。
HPS的超高真空UHV閥門是一種緊湊型真空閥門,可用于PVD、高能物理、質譜儀及其他要求超凈環境的超高真空系統中。
為了在有限的空間條件下實現系統的軟抽真空,我們推薦使用 HPS 的 LoPro 雙級閥門,它將一個低高度的隔離閥和一個小的旁通閥相集成,很大地簡化了系統的安裝并降低了成本。
CV HPS 角閥具有的高通導、緊湊、耐久和可靠的設計,使其成為如今高真空工藝的*。CV 閥門非常適合半導體生產或實驗室研究。主要用于測量計中或進行真空系統的隔離,我們推薦它還可作為排氣閥、旁通閥或初級閥來應用。以下所示的閥門配置顯示了可以獲得的組合。其它密封材料,包括有銅、Kalrez、鎳、硅樹脂和Chemraz等,如有問題請與我們。 零件編號 示例:CV16-K1K1-NCCV-120
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